特許
J-GLOBAL ID：201703001501643593

ガス導入配管接続構造及びこれを用いた熱処理装置

発明者：
山崎 満

山崎 満 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-021790
公開番号（公開出願番号）：特開2014-152833
特許番号：特許第6145279号
出願日： 2013年02月06日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 処理容器内に複数種類のガスを導入するために、前記処理容器の所定のガス導入部に複数のガス導入配管を接続するガス導入配管接続構造であって、 前記ガス導入部に、前記複数のガス導入配管に対応して設けられた複数のガス導入配管被接続部と、 前記複数のガス導入配管の各先端に設けられ、前記ガス導入配管を前記ガス導入配管被接続部に固定接続するための複数のガス導入配管接続機構と、を有し、 前記複数のガス導入配管被接続部及び前記複数のガス導入配管接続機構は、互いに対応する前記ガス導入配管接続機構及び前記ガス導入配管被接続部のみが1対1で接続可能な誤接続防止構造を有し、 前記ガス導入配管接続機構は、ナットとC-リングとを含み、 前記誤接続防止構造は、互いに対応する前記ガス導入配管被接続部に前記ガス導入配管接続機構が接続される際、前記ガス導入配管被接続部の第1の面に設けられた所定の突出パターンと、前記ガス導入配管接続機構の前記C-リングの該第1の面と対向する第2の面に設けられ、該所定の突出パターンに該第2の面を突き抜けさせる所定の突き抜け許容パターンであり、該所定の突出パターンと該所定の突き抜け許容パターンとの一致により誤接続を防止しながら前記ナットによる固定接続が可能な構造であるガス導入配管接続構造。
IPC (5件)：
F16L 1/00 ( 200 6.01) ,  F16L 35/00 ( 200 6.01) ,  F16L 19/025 ( 200 6.01) ,  H01L 21/31 ( 200 6.01) ,  C23C 16/455 ( 200 6.01)
FI (5件)：
F16L 1/00 Y ,  F16L 35/00 Z ,  F16L 19/025 ,  H01L 21/31 B ,  C23C 16/455
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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