特許

J-GLOBAL ID：201703001507847840

ダイシング装置

発明者： 伊藤 純一
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (2件)： 清水 貴光 ,  林 孝吉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-211894
公開番号（公開出願番号）：特開2015-076516
特許番号：特許第6145384号
出願日： 2013年10月09日
公開日（公表日）： 2015年04月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ワークを載置したワークテーブルと、 前記ワークを切断するブレードと、 前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、 前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、 該スピンドルを支持するスピンドル移動機構と、 該スピンドル移動機構の送りと前記ワークテーブル送り機構の送りとを制御するコントローラと、 を備えるダイシング装置において、 前記スピンドルのシャフトの温度をモニタリングする温度センサと、 前記コントローラに設けられ、前記温度センサによりモニタリングされた温度に基づいて前記スピンドル移動機構の送りと前記ワークテーブル送り機構の送りとの少なくともいずれか一方の送りに補正をかける制御部と、 を備えることを特徴とするダイシング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  B24B 49/14 ( 200 6.01) ,  B24B 27/06 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/78 F ,  B24B 49/14 ,  B24B 27/06 M

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 切削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-292377   出願人：株式会社ディスコ
• 切削ブレードの管理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-006640   出願人：株式会社ディスコ

審査官引用 (2件)

• 切削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-292377   出願人：株式会社ディスコ
• 切削ブレードの管理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-006640   出願人：株式会社ディスコ