試料ホルダー先端部、及び前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂野博行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-098538
公開番号（公開出願番号）：特開2013-229113
特許番号：特許第6073568号
出願日： 2012年04月24日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料設置台座と、試料を載せるための試料メッシュと、前記試料メッシュを押える試料押さえ部と、前記試料押さえ部をクランプするクランプ部と、からなる試料ホルダー先端部であって、前記試料押さえ部は、そろばん玉状のリング形状である試料ホルダー先端部。

IPC (1件)：