特許
J-GLOBAL ID：201703001658024110
チャンバを空にして該チャンバから取り出されたガスを浄化するための装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
田中 光雄
, 山崎 宏
, 大畠 康
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-546495
特許番号：特許第6138144号
出願日： 2012年12月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 チャンバ(14)を空にして、該チャンバ(14)から取り出されたガスを、混入した異物から浄化するための、以下の特徴を有する装置にして、
a.乾燥圧縮真空ポンプ(15)であって、その入口(17)は、空にされるべきチャンバ(14)に接続されており、その出口(18)における状態が変動するにもかかわらず、その入口圧力を一定に保つのに適している乾燥圧縮真空ポンプ(15)と、
b.乾燥圧縮真空ポンプ(15)の上記出口(18)に接続されている中間ライン(19)と、
c.液体リング真空ポンプ(20)であって、その入口は、上記中間ライン(19)に接続されている液体リング真空ポンプ(20)と、を有しており、
上記乾燥圧縮真空ポンプ(15)の上記出口(18)及び/又は上記中間ライン(19)に、洗浄ガスを供給するための開口(22)が備えられており、
上記開口は、上記乾燥圧縮真空ポンプ(15)のハウジングとシャフトとの間に存在するギャップであることを特徴とする、装置。
IPC (3件)：
F04B 37/16 ( 200 6.01)
, F04B 41/06 ( 200 6.01)
, F04C 25/02 ( 200 6.01)
F04B 37/16 D
, F04B 41/06
, F04C 25/02 P
