特許
J-GLOBAL ID：201703001769260263

キーパターン検出方法、及び、アライメント方法

発明者：
野間 孝幸

野間 孝幸 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 松本 昂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-075941
公開番号（公開出願番号）：特開2014-203837
特許番号：特許第6143337号
出願日： 2013年04月01日
公開日（公表日）： 2014年10月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ワークピース上でキーパターンを検出するキーパターン検出方法であって、 登録用ワークピースの撮像画像を取得して該撮像画像に含まれる特定の領域で定義されるテンプレート画像を取得するテンプレート画像形成ステップと、 該テンプレート画像に複数の画像処理をそれぞれ施して複数のテンプレート候補画像を形成するテンプレート候補形成ステップと、 処理用ワークピース上を撮像して処理用ワークピース撮像画像を取得し、該処理用ワークピース撮像画像に対し、複数の該テンプレート候補画像を用いてパターンマッチングを実施して、最も高い相関性を得られた領域をキーパターンとして検出するパターンマッチングステップと、を備え、 前記画像処理は、複数のエッジ検出処理と複数の閾値における二値化処理との組み合わせから少なくともなる、ことを特徴とするキーパターン検出方法。
IPC (1件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01)
FI (1件)：
H01L 21/78 C
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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