基板収納容器

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：藤本英介 , 神田正義 , 宮尾明茂 , 馬場信幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-270111
公開番号（公開出願番号）：特開2014-116492
特許番号：特許第6109554号
出願日： 2012年12月11日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を収納する容器本体と、この容器本体の正面を開閉する蓋体とを備え、容器本体の内部両側に、基板を略水平に支持する支持片を対向させて設け、基板を収納した容器本体の開口した正面に蓋体を嵌め入れた場合に、支持片から基板を浮上させて容器本体の内面に接触支持させる基板収納容器であって、容器本体の内面と蓋体のうち、少なくとも容器本体の内面に、支持片から浮上した基板を支持する溝を設け、この溝を区画する斜面を、支持片を移動した基板の周縁部に最初に接触する第一のツヤ領域と、この第一のツヤ領域を通過して来た基板の周縁部に接触するツヤ消し領域と、このツヤ消し領域を通過して来た基板の周縁部に接触して溝の谷に誘導する第二のツヤ領域とに区画し、第一、第二のツヤ領域の静摩擦係数をツヤ消し領域の静摩擦係数よりも低くし、ツヤ消し領域の動摩擦係数を第一、第二のツヤ領域の動摩擦係数よりも低くしたことを特徴とする基板収納容器。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ( 200 6.01) , B65D 85/86 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 V , B65D 85/38 R

引用特許：

出願人引用 (5件)

薄板状ワークの位置決め収納装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-249809 出願人：株式会社メックス
基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-152629 出願人：信越ポリマー株式会社
基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-275495 出願人：信越ポリマー株式会社

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審査官引用 (5件)

薄板状ワークの位置決め収納装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-249809 出願人：株式会社メックス
基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-152629 出願人：信越ポリマー株式会社
基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-275495 出願人：信越ポリマー株式会社

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