基板収納容器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：藤本英介 , 神田正義 , 宮尾明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-305866
公開番号（公開出願番号）：特開2006-120791
出願日： 2004年10月20日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：

【課題】ティースの正規の位置に基板を復帰させてその取り出し作業を容易にしたり、基板の破損を抑制できる基板収納容器を提供する。【解決手段】半導体ウェーハWを収納する容器本体と、容器本体の内部両側に配設されて半導体ウェーハWを略水平に支持する複数のティースと、容器本体内に装着されて半導体ウェーハWの後部周縁を保持溝32を介して保持するリヤリテーナと、容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを備える。そして、複数のティースの後方に、容器本体を蓋体により嵌合閉鎖した場合に半導体ウェーハWの両側部周縁に傾斜面51を接触させて半導体ウェーハWを上下方向に案内する複数のガイド溝50を設け、各ガイド溝50を形成する傾斜面51の傾斜角度をリヤリテーナ30の保持溝32を形成する傾斜面33の傾斜角度よりも小さく設定する。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

基板を収納する容器本体と、この容器本体の内部両側に設けられて基板を支持する複数のティースと、容器本体内に設けられて基板の後部周縁を保持溝を介して保持するリヤリテーナと、容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを含み、容器本体を蓋体により閉じた場合に、リヤリテーナと蓋体との間に基板を挟んで複数のティースから持ち上げる基板収納容器であって、複数のティースの後方に、容器本体を蓋体により閉じた場合に基板の周縁に傾斜面を接触させて基板を上下方向に案内するガイド溝を設け、このガイド溝を形成する傾斜面の傾斜角度をリヤリテーナの保持溝の傾斜角度よりも小さく設定したことを特徴とする基板収納容器。

IPC (1件)：

H01L 21/673

FI (1件)：

H01L21/68 T

Fターム (8件)：

5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031EA02 , 5F031EA03 , 5F031EA06 , 5F031EA11 , 5F031KA03 , 5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (4件)

クッション付きウェハー容器
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-559036 出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-275495 出願人：信越ポリマー株式会社
基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-184605 出願人：信越ポリマー株式会社

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