特許

J-GLOBAL ID：201703002234221869

エミッタ、それを用いた電子銃、それを用いた電子機器、および、その製造方法

発明者： 唐 捷 ,  ユエン ジンシ ,  ザン ハン ,  秦 禄昌
出願人/特許権者： 国立研究開発法人物質・材料研究機構
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  鈴木 三義 ,  柳井 則子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016056017
公開番号（公開出願番号）：WO2016-140177
出願日： 2016年02月29日
公開日（公表日）： 2016年09月09日
要約：

本発明のエミッタは、ナノワイヤ(100)を備え、ナノワイヤ(100)は、炭化ハフニウム(HfC)単結晶(110)からなり、少なくとも前記炭化ハフニウム単結晶(110)の電子を放出すべき端部は、酸化ハフニウム(HfO2)(120)で被覆されている。

請求項（抜粋）：

ナノワイヤを備えたエミッタであって、 前記ナノワイヤは、炭化ハフニウム(HfC)単結晶からなり、 少なくとも前記炭化ハフニウム単結晶の電子を放出すべき端部は、酸化ハフニウム(HfO2)で被覆されている、エミッタ。

IPC (4件)：

H01J 37/073 ,  H01J 9/02 ,  B82Y 30/00 ,  B82Y 40/00

FI (4件)：

H01J37/073 ,  H01J9/02 B ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Fターム (18件)：

5C030CC02 ,  5C227AA03 ,  5C227AA07 ,  5C227AA11 ,  5C227AB10 ,  5C227AB15 ,  5C227AC15 ,  5C227AD02 ,  5C227AD15 ,  5C227GG12 ,  5C227HH04 ,  5C227HH07 ,  5C227HH08 ,  5C227HH62 ,  5C227HH70 ,  5C227HH72 ,  5C227HH77 ,  5C227HH93