特許
J-GLOBAL ID：201703002352251080
金属被覆部材の製造方法およびその真空製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-049470
公開番号（公開出願番号）：特開2014-173178
特許番号：特許第6161149号
出願日： 2013年03月12日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 透光性の樹脂カバーと、前記樹脂カバーと接合するハウジングと、
前記樹脂カバーとハウジングとで区画された空間内に配置した光源および樹脂基材上に金属反射膜を形成した金属被覆部材とを備えた照明装置に用いる前記金属被覆部材の製造方法であって、
3次元形状に形成した樹脂基材を用意する工程と、
前記樹脂基材を真空装置内に設置して、真空に排気する工程と、
真空に排気した真空装置内にニトロ化合物を導入し、減圧化で前記ニトロ化合物のプラズマ放電に前記樹脂基材を曝す金属反射膜形成前プラズマ処理工程と、
前記樹脂基材の上に、真空雰囲気で金属膜を成膜する金属膜形成工程と、
前記金属膜の上に、真空雰囲気で保護膜を形成する保護膜形成工程とを、
順に行い、
前記金属反射膜形成前プラズマ処理工程が、高周波プラズマを用いたプラズマ放電を使用し、
前記金属膜形成工程が、前記ニトロエタンのプラズマを停止させた後に、真空状態を保ったまま蒸着法またはスパッタ法を用いて金属膜を成膜する工程であり、
前記保護膜形成工程が、前記金属膜の成膜を停止させた後に、真空状態を保ったまま高周波プラズマによる重合法を用いて重合膜を形成する工程であることを特徴とする金属被覆部材の製造方法。
IPC (7件)：
C23C 14/02 ( 200 6.01)
, C23C 14/34 ( 200 6.01)
, C23C 14/56 ( 200 6.01)
, F21V 7/00 ( 200 6.01)
, F21S 8/10 ( 200 6.01)
, G02B 5/08 ( 200 6.01)
, F21Y 101/00 ( 201 6.01)
C23C 14/02 A
, C23C 14/34 Z
, C23C 14/56 G
, F21V 7/00 100
, F21S 8/10 182
, F21S 8/10 381
, G02B 5/08 C
, F21Y 101:00
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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