特許
J-GLOBAL ID:201703002461194207

コア/シェル構造金属酸化物マイクロベルト、その製造方法、湿度センサー及び歪みセンサー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 續 成朗 ,  西澤 利夫
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-243074
公開番号(公開出願番号):特開2013-250256
特許番号:特許第6160989号
出願日: 2012年11月02日
公開日(公表日): 2013年12月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 平板状のコア部と、前記コア部を覆うように形成されたシェル部とからなる平板状の構造体であって、 前記コア部が絶縁性又は抵抗率ρが1kΩcm以上の高抵抗性の金属酸化物からなり、 前記シェル部が酸化すず、酸化亜鉛又は酸化インジウムのいずれか一又は二以上の金属酸化物からなり、 前記コア部の金属酸化物の融点が前記シェル部の金属酸化物の融点よりも高いことを特徴とするコア/シェル構造金属酸化物マイクロベルト。
IPC (3件):
G01N 27/12 ( 200 6.01) ,  G01N 27/04 ( 200 6.01) ,  G01B 7/16 ( 200 6.01)
FI (5件):
G01N 27/12 G ,  G01N 27/04 B ,  G01N 27/12 H ,  G01N 27/12 M ,  G01B 7/16 R
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)
引用文献:
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