特許

J-GLOBAL ID：201703002597699574

重合体、有機膜組成物、およびパターン形成方法

発明者： 南 ▲えん▼ 希 ,  金 ▲せい▼ 煥 ,  金 ▲みん▼ 秀 ,  朴 惟 廷 ,  鄭 スルギ
出願人/特許権者： 三星エスディアイ株式会社
代理人 (1件)： 八田国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-244691
公開番号（公開出願番号）：特開2017-110223
出願日： 2016年12月16日
公開日（公表日）： 2017年06月22日
要約：

【課題】本発明は、ギャップフィル特性および平坦化特性を確保しながら、耐熱性および耐エッチング性も満足することができる重合体、前記重合体を含む有機膜組成物、および前記有機膜組成物を用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】本発明の一実施形態に係る重合体は、下記の化学式1で表される構造単位を含む。(前記化学式1の定義は、明細書中の定義と同様である。)【選択図】図1

請求項（抜粋）：

下記の化学式1で表される構造単位を含む重合体:

IPC (3件)：

C08G 61/10 ,  G03F 7/11 ,  G03F 7/40

FI (4件)：

C08G61/10 ,  G03F7/11 503 ,  G03F7/11 502 ,  G03F7/40 521

Fターム (16件)：

2H196AA25 ,  2H196HA23 ,  2H196JA04 ,  2H225AM79N ,  2H225AN39N ,  2H225AN42N ,  2H225BA01N ,  2H225CA12 ,  4J032CA04 ,  4J032CA32 ,  4J032CB03 ,  4J032CB12 ,  4J032CC01 ,  4J032CD00 ,  4J032CE03 ,  4J032CG01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• レジスト保護膜材料及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-266406   出願人：信越化学工業株式会社