特許
J-GLOBAL ID:201703002722396414
誘電体ミラーベースのマルチスペクトルフィルタアレイ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山田 卓二
, 田中 光雄
, 中野 晴夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-255688
公開番号(公開出願番号):特開2017-126742
出願日: 2016年12月28日
公開日(公表日): 2017年07月20日
要約:
【課題】耐久性が向上し、スペクトル範囲が改善し、光センサデバイス用の光フィルタを提供する。【解決手段】光センサデバイスは、光センサのセットを含む。光センサデバイスは、基板を含む。光センサデバイスは、基板に配置されたマルチスペクトルフィルタアレイを含む。マルチスペクトルフィルタアレイは、基板の上に配置された第1の誘電体ミラー110-1を含む。マルチスペクトルフィルタアレイは、第1の誘電体ミラーの上に配置されたスペーサ120を含む。スペーサは、層のセットを含む。マルチスペクトルフィルタアレイは、スペーサの上に配置された第2の誘電体ミラー110-2を含む。第2の誘電体ミラーは、センサ素子のセットの2つ以上のセンサ素子と整列されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光センサのセットと、
基板と、
を含む光センサデバイスであって、
該基板に配置されたマルチスペクトルフィルタアレイは、
該基板の上に配置された第1の誘電体ミラーと、
該第1の誘電体ミラーの上に配置されたスペーサであって、層のセットを含むスペーサと、
該スペーサの上に配置された第2の誘電体ミラーと、
を含み、
該第2の誘電体ミラーは、センサ素子のセットの2つ以上のセンサ素子と整列している光センサデバイス。
IPC (5件):
H01L 31/10
, G02B 5/28
, G02B 5/26
, G02B 1/11
, H01L 27/14
FI (5件):
H01L31/10 A
, G02B5/28
, G02B5/26
, G02B1/11
, H01L27/14 D
Fターム (33件):
2H148FA05
, 2H148FA09
, 2H148FA15
, 2H148FA22
, 2H148FA24
, 2H148GA04
, 2H148GA09
, 2H148GA12
, 2H148GA23
, 2H148GA33
, 2H148GA61
, 2K009AA02
, 2K009BB02
, 2K009BB04
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118GC01
, 4M118GC07
, 4M118GC13
, 4M118GC17
, 5F849AA01
, 5F849BA21
, 5F849BB03
, 5F849CB07
, 5F849GA02
, 5F849GA04
, 5F849HA01
, 5F849HA06
, 5F849HA07
, 5F849LA01
, 5F849XB19
, 5F849XB35
引用特許:
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