特許
J-GLOBAL ID：201703002891344377
13族窒化物結晶の製造方法、13族窒化物結晶基板の製造方法、及び13族窒化物結晶基板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-047345
公開番号（公開出願番号）：特開2014-172790
特許番号：特許第6186763号
出願日： 2013年03月08日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくともアルカリ金属及び13族金属を含む混合融液中に気相から窒素を溶解し、前記混合融液中において窒化物結晶を結晶成長させる13族窒化物結晶の製造方法において、
下地基板の主面に、窒化物結晶が結晶成長を開始しうる材質からなる、前記主面に沿った直線状の成長開始領域を形成すると共に、該主面における該成長開始領域以外の領域に、窒化物結晶の核発生を阻害し且つ窒化物結晶の結晶成長を阻害しない材質からなるマスクが形成されたマスク領域を形成する第1工程と、
前記混合融液中において、前記成長開始領域から窒化物結晶の結晶成長を開始させる第2工程と、
前記成長開始領域から結晶成長した窒化物結晶の{10-11}面を主成長面とした結晶成長及び前記成長開始領域から該成長開始領域に連続する前記マスク領域に向かう方向への結晶成長を継続させる第3工程と、
を含む、13族窒化物結晶の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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