特許
J-GLOBAL ID：201703003548068654
基板クランプ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加古 宗男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-512253
特許番号：特許第6086628号
出願日： 2013年04月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 コンベアによって搬送されてくる基板を、その幅方向両側の下方からリフト部材により持ち上げて、その上方に位置する押さえ部材との間に該基板の側縁部を挟み込んでクランプする基板クランプ装置において、
前記リフト部材と前記押さえ部材との間に前記基板の側縁部を挟み込んでクランプすることで該基板に下向きの曲げモーメントを付与して該基板の上反りを矯正する上反り矯正手段を備え、
前記押さえ部材は、前記コンベアの幅方向両側に位置するガイドレールに対して上反り矯正位置と通常クランプ位置とに移動可能に取り付けられ、前記上反り矯正位置では、前記上反り矯正手段により前記基板に下向きの曲げモーメントを付与した状態で該基板をクランプし、前記通常クランプ位置では、前記基板に下向きの曲げモーメントを付与しない状態で該基板をクランプするように構成されていることを特徴とする基板クランプ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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