特許

J-GLOBAL ID：201703003897974867

基板収納容器用バルブ

発明者： 小川 統 ,  石川 隆純
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (4件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂 ,  馬場 信幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-029053
公開番号（公開出願番号）：特開2017-147372
出願日： 2016年02月18日
公開日（公表日）： 2017年08月24日
要約：

【課題】 洗浄液を適切に除去でき、洗浄作業の自動化や迅速化を図り、逆止弁機構の機能低下や既存装置との互換性喪失を防止できる基板収納容器用バルブを提供する。【解決手段】 半導体ウェーハ用の基板収納容器1と、基板収納容器1の内外に流体を流通させる給排出バルブ20とを備え、給排出バルブ20は、基板収納容器1の取付口7に嵌通される第一のハウジング筒23と、第一のハウジング筒23に嵌入される中蓋29と、中蓋29に対向する第二のハウジング筒35と、中蓋29と第二のハウジング筒35間の空間39に収納され、弁座体41に接離する逆止弁体44が逆流を防止するよう作動する逆止弁機構40とを含み、弁座体41を中空筒形に形成し、弁座体41の開口した両端部を中蓋29の流通口31と第二のハウジング筒35の開口37とにシール状態に接続し、弁座体41に逆止弁体44をコイルバネ47を介しスライド可能に嵌入する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

基板を収納可能な基板収納容器と、この基板収納容器に取り付けられる給排出バルブとを備え、この給排出バルブにより、基板収納容器の内外に流体を流通させる基板収納容器用バルブであって、 給排出バルブは、基板収納容器の取付口に嵌め通される少なくとも一つのハウジング筒と、このハウジング筒の中空部に収納され、弁座体に接離する逆止弁体が逆流を防止するよう作動する逆止弁機構とを含み、 逆止弁機構の弁座体が略中空筒形に形成され、この弁座体の開口した両端部がハウジング筒の中空部における流通口の両端部にシール可能に接触し、弁座体内に逆止弁体が弾性付勢体を介してスライド可能に嵌め入れられることを特徴とする基板収納容器用バルブ。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ,  B65D 85/30

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  B65D85/30 Z

Fターム (35件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BA17 ,  3E096BB04 ,  3E096CA03 ,  3E096CB03 ,  3E096DA01 ,  3E096DA17 ,  3E096DA30 ,  3E096EA02 ,  3E096FA40 ,  3E096GA20 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131CA13 ,  5F131CA32 ,  5F131GA13 ,  5F131GA22 ,  5F131GA53 ,  5F131GA63 ,  5F131GA73 ,  5F131GA74 ,  5F131GA75 ,  5F131GA76 ,  5F131GA83 ,  5F131GA84 ,  5F131GA88 ,  5F131GA92 ,  5F131JA04 ,  5F131JA16 ,  5F131JA27 ,  5F131JA32 ,  5F131JA33 ,  5F131JA35

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 流体密封流路を備えた基板容器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-508637   出願人：インテグリス・インコーポレーテッド
• フィルタカートリッジ組立体
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-562129   出願人：セミファブインコーポレイテッド, エムパック