ネガ型レジスト用の現像可能な底部反射防止コーティング組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：上野剛史 , 太佐種一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-525165
特許番号：特許第6172681号
出願日： 2012年08月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ネガ型現像可能な底部反射防止コーティング(NDBARC)組成物であって、少なくとも1つのカルボン酸部分と、 3-ヒドロキシ-1-アダマンチルメタクリレート(HADMA)部分及び3-(2’-ヒドロキシエトキシ)-1-アダマンチルメタクリレート(HEADMA)部分のうちの少なくとも1つを含む、少なくとも1つの架橋性脂肪族アルコール部分と、 9-アントリルメチルメタクリレート(ANTMA)部分、ヒドロキシルスチレン部分、及びスチレン部分のうちの少なくとも1つを含む、少なくとも1つの芳香族部分とを有するポリマーを含む組成物。

IPC (2件)：