特許
J-GLOBAL ID：201703004492736116
光学部材の評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (8件)：
大塚 康徳
, 大塚 康弘
, 高柳 司郎
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
, 坂本 隆志
, 前田 浩次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-007214
公開番号（公開出願番号）：特開2017-129382
出願日： 2016年01月18日
公開日（公表日）： 2017年07月27日
要約：
【課題】物体光の位相分布に拘らず、物体光から参照光を生成して精度良く光学部材の評価を行うことができる評価装置を提供する。【解決手段】評価対象の光学部材を通過した物体光により当該光学部材の評価を行う評価装置は、物体光を分岐する分岐手段と、分岐手段が分岐した一方の物体光が通過し、一方の物体光に対して通過する空間位置に応じた位相遅延を与える位相調整手段と、位相調整手段を通過した物体光に対して空間周波数に基づくローパスフィルタ処理を行い参照光として出力する生成手段と、参照光と、分岐手段が分岐した他方の物体光を干渉させて干渉縞を生じさせる干渉手段と、干渉縞を撮像する撮像手段と、撮像手段が撮像した干渉縞に基づき物体光の位相の空間分布を求め、求めた位相の空間分布に基づき位相調整手段を制御する制御手段と、を備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
評価対象の光学部材を通過した物体光により当該光学部材の評価を行う評価装置であって、
前記物体光を分岐する分岐手段と、
前記分岐手段が分岐した一方の物体光が通過し、前記一方の物体光に対して通過する空間位置に応じた位相遅延を与える位相調整手段と、
前記位相調整手段を通過した物体光に対して空間周波数に基づくローパスフィルタ処理を行い参照光として出力する生成手段と、
前記参照光と、前記分岐手段が分岐した他方の物体光を干渉させて干渉縞を生じさせる干渉手段と、
前記干渉縞を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した干渉縞に基づき前記物体光の位相の空間分布を求め、前記求めた位相の空間分布に基づき前記位相調整手段を制御する制御手段と、
を備えていることを特徴とする評価装置。
IPC (3件)：
G01M 11/00
, G01B 9/02
, G01J 9/02
G01M11/00 Q
, G01B9/02
, G01J9/02
2F064AA00
, 2F064BB03
, 2F064CC01
, 2F064EE04
, 2F064GG41
, 2F064GG53
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ01
, 2G086BB04
