特許
J-GLOBAL ID：201703004819486070
表面疵検査装置及び表面疵検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-187622
公開番号（公開出願番号）：特開2017-062181
出願日： 2015年09月25日
公開日（公表日）： 2017年03月30日
要約：
【課題】被検査材の表面に形成された疵を高い確度で検出する。【解決手段】被検査材200の表面を加熱する加熱器104と、被検査材200の表面の温度分布を撮像する赤外線カメラ102と、を備え、赤外線カメラ102で撮像された温度画像から当該温度画像の温度ムラを示す背景温度画像を算出する背景温度画像算出手段20と、温度画像と背景温度画像との差分を温度差画像として算出する温度差画像算出手段22と、温度差画像内の温度分布に基づいて被検査材の表面の疵を検出する疵検出手段24と、を備える表面疵検査装置100とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査材の表面を加熱する加熱器と、
前記被検査材の表面の温度分布を撮像する第1撮像手段と、
を備え、
前記第1撮像手段で撮像された温度画像から当該温度画像の温度ムラを示す背景温度画像を算出する背景温度画像算出手段と、
前記温度画像と前記背景温度画像との差を温度差画像として算出する温度差画像算出手段と、
放射率や冷却性の違いにより疵の温度が正常部と異なることを利用して前記温度差画像内の温度分布に基づいて前記被検査材の表面の疵を検出する疵検出手段と、
を備えることを特徴とする表面疵検査装置。
IPC (5件)：
G01N 25/72
, G01N 21/88
, G01N 21/892
, G01J 5/48
, G01J 5/00
G01N25/72 B
, G01N21/88 J
, G01N21/892 B
, G01J5/48 A
, G01J5/48 E
, G01J5/00 101B
2G040AA06
, 2G040BA10
, 2G040CA02
, 2G040DA06
, 2G040DA12
, 2G040EA08
, 2G040GA07
, 2G040HA18
, 2G040ZA01
, 2G051AA37
, 2G051AB02
, 2G051BA01
, 2G051BA08
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051DA06
, 2G051EA08
, 2G051EA11
, 2G051EA25
, 2G051EC05
, 2G051ED03
, 2G051ED08
, 2G066AC11
, 2G066BC15
, 2G066CA02
, 2G066CA04
, 2G066CA16
