特許
J-GLOBAL ID:201503011827433689
外観検査装置、外観検査方法、およびプログラム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
井上 誠一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-009407
公開番号(公開出願番号):特開2015-137921
出願日: 2014年01月22日
公開日(公表日): 2015年07月30日
要約:
【課題】電子部品の良否判定を高精度に行うことが可能な外観検査装置等を提供する。【解決手段】照明ユニット29は、ドーム照明29Aおよび同軸落射照明29Bから構成され、白色LEDの光を電子部品1の表面に照射する。照射ユニット30は、ドーム照明30Aおよび同軸落射照明30Bから構成され、青色LEDの光を電子部品1の表面に照射する。照射ユニット31は、ドーム照明31A、同軸落射照明31B、透過照明31Cから構成され、白色LEDの光を電子部品1の裏面に照射する。画像処理ユニット37〜39は、ラインセンサカメラ26〜28により撮像された画像と膨張収縮処理した画像との差分処理、および、撮像画像と基準画像との差分処理をそれぞれ実施し、差分画像から得られた欠陥候補の面積(画素数)から良否判定する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
電子部品の外観を検査する外観検査装置であって、
青色LEDドーム照明および青色LED同軸落射照明により、前記電子部品の表面を照射する第1の照射手段と、
前記第1の照射手段により照射された前記電子部品を撮像し、第1の検査対象画像を得る第1の撮像手段と、
前記第1の撮像手段により得られた前記第1の検査対象画像の明部を抽出し、抽出した第1の明部抽出画像の明部を膨張し、膨張した画像を収縮して第1の膨張収縮画像を得る第1の膨張収縮手段と、
前記第1の明部抽出画像と前記第1の膨張収縮画像との差分を算出し、第1の差分画像を得る第1の差分手段と、
前記第1の差分手段により得られた前記第1の差分画像に基づいて、良否を判定する第1の判定手段と、
を備えることを特徴とする外観検査装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (24件):
2G051AA62
, 2G051AB03
, 2G051AC21
, 2G051BA01
, 2G051BA04
, 2G051BA08
, 2G051BB03
, 2G051BB11
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CB03
, 2G051DA06
, 2G051DA13
, 2G051EA08
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 2G051ED04
, 2G051ED09
, 2G051ED15
, 2G051ED21
引用特許: