特許
J-GLOBAL ID：201703005072217438
インピーダンスマッチング装置、線形運動モジュール、及びラジオ周波数電力供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高岡 亮一
, 小田 直
, 高橋 香元
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-518799
特許番号：特許第6150304号
出願日： 2012年06月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 RF電源に連結され、直線運動する第1軸を含む第1可変キャパシター(variable capacitor)と、
前記第1可変キャパシターの前記第1軸に軸結合して直線運動を提供する第1線形運動部と、
前記第1軸と前記第1線形運動部の第1駆動軸とを連結する第1絶縁ジョイントと、
前記第1線形運動部の前記第1駆動軸の移動距離を測定する第1変位センサと、を含み、
前記第1線形運動部は、ボイスコイルモーター(voice coil motor)であり、
前記第1線形運動部は、
前記第1駆動軸の他端に結合するコイルボビン(bobbin)と、
前記第1駆動軸を包み、前記コイルボビンに線形運動を提供する第1永久磁石部と、を含み、
前記第1永久磁石部は、前記コイルボビンが挿入されるようにその周りに円形溝を含み、
前記円形溝は、前記コイルボビンにガイド機能を行い、
前記第1変位センサは、
前記第1線形運動部の中心軸から延長された変位センサ取付け部と、
前記変位センサ取付け部に取り付けられるエンコーダスケーラと、
前記エンコーダスケーラと離隔して配置されるエンコーダ読みとり部と、
を含むことを特徴とするプラズマ発生用インピーダンスマッチング装置。
IPC (2件)：
H05H 1/46 ( 200 6.01)
, H03H 7/38 ( 200 6.01)
H05H 1/46 R
, H03H 7/38 Z
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (10件)
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