特許

J-GLOBAL ID：201703005084762199

レーザで促進される、分離した部品の選択的な転写

発明者： マリノフ,ヴァル ,  スウェンソン,オーヴェン ,  パヴィチーチ,マーク ,  ミラー,ロス ,  チェン,ツィーガン ,  サーウァー,ファーダス ,  セムラー,マシュー
出願人/特許権者： エヌディーエスユー リサーチ ファウンデーション
代理人 (4件)： 渡邉 一平 ,  木川 幸治 ,  佐藤 博幸 ,  小池 成
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-505259
特許番号：特許第6053756号
出願日： 2012年04月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 物品を転写する方法であって、 レーザ透過キャリアの接着材層に物品を接着することと、 前記接着材層を変形させるブリスタリング層にブリスターを形成するために、低エネルギーレーザビームを、前記レーザ透過キャリアを通して前記接着材層に近接する前記キャリア内の前記ブリスタリング層に集中させることと、 前記ブリスターが膨張するときの前記物品の分離に応答して、前記物品を前記レーザ透過キャリアからごく近接に配置される受容基板へ転写することと、 を含む、方法。

IPC (3件)：

H01L 21/52 ( 200 6.01) ,  H01L 21/50 ( 200 6.01) ,  H01L 29/786 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/52 C ,  H01L 21/50 C ,  H01L 29/78 618 B

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 素子配列型装置、素子配列型装置の製造方法、及び画像表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-030179   出願人：ソニー株式会社
• 表示装置及び表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-365221   出願人：ソニー株式会社
• 素子の転写方法、素子の間引き方法及び素子の転写装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-183936   出願人：ソニー株式会社
• 素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-112401   出願人：ソニー株式会社

審査官引用 (3件)

• 素子配列型装置、素子配列型装置の製造方法、及び画像表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-030179   出願人：ソニー株式会社
• 表示装置及び表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-365221   出願人：ソニー株式会社
• 素子の転写方法、素子の間引き方法及び素子の転写装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-183936   出願人：ソニー株式会社