特許
J-GLOBAL ID:200903095780460390
素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-112401
公開番号(公開出願番号):特開2002-314052
出願日: 2001年04月11日
公開日(公表日): 2002年10月25日
要約:
【要約】【課題】 他の部品に影響を与えることなく、転写対象となる素子のみを確実に、効率的且つ精度良く転写する。【解決手段】 第1の基板上に配列された素子を接着樹脂層が形成された第2の基板上に選択的に転写する素子の転写方法である。第2の基板の裏面側からレーザ光を照射して第2の基板上の接着樹脂層を選択的に加熱し、当該接着樹脂層を硬化することにより転写対象となる素子を第2の基板に接着する。基板の裏面側からレーザ光を照射し、その部分の接着樹脂層を直接、あるいは素子や配線を介して間接的に加熱すると、加熱された部分の接着樹脂層が選択的に接着力を発揮する。これを硬化することで、転写対象となる素子のみが第2の基板上に選択的に転写される。
請求項(抜粋):
第1の基板上に配列された素子を接着樹脂層が形成された第2の基板上に選択的に転写する素子の転写方法において、第2の基板の裏面側からレーザ光を照射して第2の基板上の接着樹脂層を選択的に加熱し、当該接着樹脂層を硬化することにより転写対象となる素子を第2の基板に接着することを特徴とする素子の転写方法。
IPC (5件):
H01L 27/12
, G09F 9/00 338
, G09F 9/33
, H01L 21/336
, H01L 29/786
FI (4件):
H01L 27/12 B
, G09F 9/00 338
, G09F 9/33 Z
, H01L 29/78 627 D
Fターム (28件):
5C094AA43
, 5C094AA47
, 5C094AA48
, 5C094AA49
, 5C094BA03
, 5C094BA25
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094DA12
, 5C094DB01
, 5C094DB04
, 5C094EA04
, 5C094EA10
, 5C094FA01
, 5C094FA10
, 5C094FB12
, 5C094FB14
, 5C094FB15
, 5C094GB10
, 5C094JA01
, 5F110AA30
, 5F110BB01
, 5F110QQ16
, 5G435AA17
, 5G435BB04
, 5G435EE33
, 5G435KK05
, 5G435KK10
引用特許:
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