特許
J-GLOBAL ID:201703005130191380

基板収納容器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 正林 真之 ,  林 一好 ,  岩池 満
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-521193
特許番号:特許第6106271号
出願日: 2013年06月03日
請求項(抜粋):
【請求項1】 一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、 前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、 板状を有し前記下壁の外面に対向して配置され係止部を有するボトムプレートと、 下方へ向けて開口する溝が形成された溝形成部と、前記溝形成部に接続され前記溝形成部の周囲を周回するように配置された周回壁部と、前記周回壁部に接続され、弾性変形可能であり、弾性変形することにより、前記ボトムプレートの前記係止部に係止される被係止部と、前記溝形成部の部分であって前記溝の底部を形成している溝底形成部と、を有し、前記周回壁部の上端面は、前記溝底形成部の上端面よりも上方に突出し、前記下壁及び前記ボトムプレートに支持され固定される溝部材と、を備える基板収納容器。
IPC (1件):
H01L 21/673 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/68 T
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 薄板支持容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2007-268320   出願人:ミライアル株式会社
  • 精密基板収納容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-191512   出願人:信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社
  • 基板収納容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2008-171031   出願人:信越ポリマー株式会社
審査官引用 (3件)
  • 薄板支持容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2007-268320   出願人:ミライアル株式会社
  • 精密基板収納容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-191512   出願人:信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社
  • 基板収納容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2008-171031   出願人:信越ポリマー株式会社

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