特許
J-GLOBAL ID：201703005646769671
切削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
, 平川 さやか
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-151913
公開番号（公開出願番号）：特開2015-023222
特許番号：特許第6069122号
出願日： 2013年07月22日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加工物を保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物を切削する回転可能に構成された切削ブレードを備えた切削手段と、該被加工物保持手段と該切削手段とを加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、を具備する切削装置において、
該切削手段は、スピンドルハウジングに回転可能に支持された回転軸と、該回転軸の前端部に嵌合して装着され切削ブレードを支持するマウンターと、該マウンターに支持された切削ブレードを該マウンターに固定する固定フランジとを具備し、
該マウンターは、該固定フランジの中央部に形成された嵌合穴が嵌合し軸方向に摺動可能に支持するボス部と、該ボス部の外周から径方向に突出して形成され前面に支持面を備えたツバ部と、該ツバ部の後方側に設けられた円筒部とを具備し、該ツバ部には該支持面側に開口する吸引孔が設けられ、該円筒部には該吸引孔と連通する連通路が設けられており、該円筒部に設けられた該連通路がロータリージョイントを介して吸引手段に連通されており、
該吸引手段を作動して該ロータリージョイントと該連通路および該吸引孔を介して該マウンターと該固定フランジとの間に負圧を作用させて該固定フランジを該マウンター側に吸引することにより切削ブレードを該マウンターと該固定フランジとの間に固定する、
ことを特徴とする切削装置。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01)
, B24B 27/06 ( 200 6.01)
H01L 21/78 F
, B24B 27/06 M
