特許
J-GLOBAL ID：200903041192071279

ダイシング装置及びダイシング方法

発明者：
中島 努

中島 努 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-188307
公開番号（公開出願番号）：特開2007-216377
出願日： 2006年07月07日
公開日（公表日）： 2007年08月30日
要約：
【課題】 ダイシングの際に発生するコンタミを効率よく除去し、ワークに再付着させない高品質なダイシングを行うダイシング装置及びダイシング方法を提供すること。【解決手段】 加工点近傍に、ブレード10の回転方向に対向し、加工点に向かって吸引口が設けられたバキュームユニット12を備えたことにより、回転方向へ向かって飛散する切削液が強制的に装置外へ排出され、コンタミがワークWへの再付着することの無い高品質なダイシングが行える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
円盤状のブレードと、 前記ブレードを回転させるスピンドルと、 前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、 前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、 前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、 前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射するノズルと、 前記ブレードの回転方向に対向し、且つ前記加工点に向かって開口した吸引口が前記加工点近傍に設けられた吸引手段とを備えたことを特徴とするダイシング装置。
IPC (2件)：
B24B 55/06 ,  H01L 21/301
FI (2件)：
B24B55/06 ,  H01L21/78 F
Fターム (4件)：
3C047FF06 ,  3C047FF17 ,  3C047HH05 ,  3C047HH13
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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