特許
J-GLOBAL ID：201703005806892009
炭化珪素単結晶インゴットの製造装置及び製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
佐々木 一也
, 成瀬 勝夫
, 久本 秀治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-039196
公開番号（公開出願番号）：特開2017-154926
出願日： 2016年03月01日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
要約：
【課題】炭化珪素単結晶の成長中に坩堝内に充填した炭化珪素原料を効率良く昇華でき、大口径かつ長尺の炭化珪素単結晶インゴットを製造する炭化珪素単結晶インゴットの製造装置及び製造方法の提供。【解決手段】坩堝本体1aと坩堝上蓋1bとを有すると共に坩堝本体1b下部に炭化珪素原料3を充填する原料充填部を有する坩堝1と、坩堝1の外側に配設されて高周波誘導加熱により坩堝本体1aを発熱させるワークコイル7とを備え、昇華再結晶法により炭化珪素単結晶を製造するための装置であり、原料充填部の外側に、坩堝本体1aの中心軸に対して非軸対称な形状を有する高周波誘導加熱可能な発熱部材7が配設されており、また、発熱部材7と坩堝本体1aとを坩堝本体1aの中心軸を回転軸として相対的に回転させる回転機構が設けられている炭化珪素単結晶インゴット4の製造装置、及びこの装置を用いて行われる炭化珪素単結晶インゴット4の製造方法。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
上端開口筒状に形成された黒鉛製の坩堝本体とこの坩堝本体の上端開口部を閉塞する黒鉛製の坩堝上蓋とを有すると共に、前記坩堝本体下部には炭化珪素原料が充填される原料充填部を有する坩堝と、前記坩堝の外側に配設され、高周波誘導加熱により坩堝本体を発熱させるワークコイルとを備え、昇華再結晶法により炭化珪素単結晶を製造するための炭化珪素単結晶インゴットの製造装置において、
前記坩堝本体下部の原料充填部の外側に、前記坩堝本体の中心軸に対して非軸対称な形状を有すると共に、前記ワークコイルによる高周波誘導加熱により発熱する発熱部材を配設し、また、前記発熱部材と前記坩堝本体とを坩堝本体の中心軸を回転軸として相対的に回転させる回転機構を設けたことを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットの製造装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
4G077AA02
, 4G077BE08
, 4G077DA02
, 4G077DA18
, 4G077EG18
, 4G077HA12
, 4G077SA01
, 4G077SA04
