特許
J-GLOBAL ID：201703005834669072

基材のコーティング方法

発明者：
カトリン・フィッシャー

カトリン・フィッシャー について

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フロリアン・パリツッカ

フロリアン・パリツッカ について

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ダレン・ロバート・サウスワース

ダレン・ロバート・サウスワース について

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ウィリアム・ホイットニー

ウィリアム・ホイットニー について


出願人/特許権者：
ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング

ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング について


代理人 (3件)： 鮫島 睦 ,  山田 卓二 ,  柳橋 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-077941
公開番号（公開出願番号）：特開2017-018941
出願日： 2016年04月08日
公開日（公表日）： 2017年01月26日
要約：
【課題】基材に備えられたビアができる限り平坦な表面を有するように絶縁材料で満たされるようにするコーティングする方法の提供。【解決手段】第一工程では、基材10の表面調整Pが行われ、第二工程では、絶縁材料20が平坦な表面を有し、ビア16が完全に絶縁材料20で満たされるように、絶縁材料20を基材10へコーティングし、基材10の表面調整P、特にビア16の領域の表面調整Pを行うことによって、塗布されるコーティング剤の流動性が改善され、これにより、絶縁コーティング剤がビア16に流れ込む際の流動性がより改善され、完全にビア16を満たすコーティング方法。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基材(10)の表面調整工程と、 絶縁材料が平坦な表面を有し、ビア(16)が完全に絶縁材料で満たされるように、基材(10)を絶縁材料でコーディングするコーティング工程と を実行する前記ビア(16)が備えられた基材(10)のコーティング方法。
IPC (6件)：
B05D 5/12 ,  C23C 26/00 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/320 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/522
FI (4件)：
B05D5/12 D ,  C23C26/00 K ,  H01L21/312 Z ,  H01L21/88 J
Fターム (41件)：
4D075AC64 ,  4D075BB26Z ,  4D075BB49X ,  4D075BB56X ,  4D075BB56Y ,  4D075BB69X ,  4D075BB76X ,  4D075BB93X ,  4D075BB95X ,  4D075CA23 ,  4D075DA07 ,  4D075DC22 ,  4D075EA45 ,  4D075EB33 ,  4D075EC30 ,  4K044AB10 ,  4K044BA21 ,  4K044BB01 ,  4K044CA04 ,  4K044CA07 ,  4K044CA53 ,  5F033MM30 ,  5F033QQ00 ,  5F033QQ53 ,  5F033QQ54 ,  5F033RR21 ,  5F033SS22 ,  5F033WW00 ,  5F033WW03 ,  5F033WW05 ,  5F033XX02 ,  5F058AA06 ,  5F058AA08 ,  5F058AC01 ,  5F058AC08 ,  5F058AD03 ,  5F058AD08 ,  5F058AE01 ,  5F058AE10 ,  5F058AF04 ,  5F058AH05
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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