特許

J-GLOBAL ID：201703005950926422

酸化物焼結体及びその製造方法

発明者： 長田 幸三 ,  生澤 正克
出願人/特許権者： JX金属株式会社
代理人 (1件)： 小越 勇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-242686
公開番号（公開出願番号）：特開2014-073959
特許番号：特許第6146773号
出願日： 2013年11月25日
公開日（公表日）： 2014年04月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 添加元素としてスズを含有するInO3-ZnO-Ga2O3焼結体であって、スズの原子数の、焼結体中の全金属元素の原子数の総和に対する比率が0.01〜0.2%(但し、Sn(錫)500ppmを除く)であり、相対密度が98%以上であって、バルク抵抗が0.29mΩcm〜0.31mΩcmであり、上記焼結体をInxGayZnzOaと表した時に、a=(3/2)x+(3/2)y+z、x:y:z=2:2:1であることを特徴とするIn2O3-ZnO-Ga2O3焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/00 ( 200 6.01) ,  C23C 14/34 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C04B 35/00 J ,  C23C 14/34 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• スパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-054185   出願人：出光興産株式会社