圧力検出ユニット及びこれを用いた圧力センサ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-026700
公開番号（公開出願番号）：特開2017-146136
出願日： 2016年02月16日
公開日（公表日）： 2017年08月24日
要約：

【課題】突発的な高電圧の印加においても半導体型圧力検出装置の検出精度の低下を防止することができる圧力検出ユニット及びこれを用いた圧力センサを提供する。【解決手段】環状のリング部材と、前記リング部材に対向する受け部材と、前記リング部材及び前記受け部材の間に挟まれたダイアフラムと、からなる受圧構造体と、前記リング部材に接合されて、前記ダイアフラムとの間に受圧空間を形成するセラミックス製のベースと、前記ベースの前記受圧空間側に取り付けられた半導体型圧力検出装置と、前記半導体型圧力検出装置に電気的に接続されるとともに前記ベースを貫通する端子ピンと、を備えた圧力検出ユニット。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

蓋状に形成されたセラミックス製のベースと、皿状に形成された受け部材と、前記ベース及び前記受け部材の間に挟まれたダイアフラムと、前記ベースにおける前記ダイアフラムの間に形成された受圧空間側に取り付けられた半導体型圧力検出装置と、前記半導体型圧力検出装置に電気的に接続されるとともに前記ベースを貫通する端子ピンと、を備えた圧力検出ユニット。

IPC (3件)：

G01L 9/00 , G01L 19/14 , H01L 29/84

FI (5件)：

G01L9/00 301Z , G01L19/14 , H01L29/84 A , H01L29/84 B , H01L29/84 Z

Fターム (21件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055EE40 , 2F055FF01 , 2F055FF38 , 2F055GG01 , 2F055GG22 , 2F055GG25 , 4M112AA01 , 4M112BA00 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA04 , 4M112CA13 , 4M112DA18 , 4M112EA11 , 4M112EA13 , 4M112FA01 , 4M112GA01

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭58-168931
特開昭59-005931
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-212556 出願人：株式会社不二工機

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