特許
J-GLOBAL ID：201203069624738250

圧力センサ

発明者：
高月 修

高月 修 について

, 
青山 倫久

青山 倫久 について


出願人/特許権者：
株式会社不二工機

株式会社不二工機 について


代理人 (1件)： 特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-212556
公開番号（公開出願番号）：特開2012-068105
出願日： 2010年09月22日
公開日（公表日）： 2012年04月05日
要約：
【課題】半導体圧力センサが収納されており且つ外側がカバーで覆われている圧力センサにおいて、高い気密性を維持しつつ、構造の簡略化を図った圧力センサを提供する。【解決手段】カバー60内が圧力検出部100で区切られて形成されている第1空間51の内部には半導体圧力検出素子41のリードピン43及びリード線47が収容されているが、第1接着剤71により封入されているので、第1空間51内に外部の水分等の液体が侵入することを阻止することができる。また、圧力検出部110の流管接続部材である受け部材2側とカバー60との間に形成される第2空間52も接着剤により封入されている。カバー60の圧力検出部110側から第2空間52を通じて水分等の液体が侵入しようとしても、第2空間52内に封入されている第2接着剤72によって阻止される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ダイアフラムと、 前記ダイアフラムとの間でオイルが封入された受圧空間が形成されており前記受圧空間内に半導体圧力検出素子が設けられているベースと、 前記ダイアフラムを挟んで前記ベースと対向して設けられ且つ流体流入管と接続されており前記ダイアフラムとの間に前記流体流入管を通じて圧力が導入される圧力導入空間が形成されている流管接続部材と、 前記ベースの背後より引き出された前記半導体圧力検出素子のリードピン及び該リードピンに接続されたリード線とを具備し、 前記ダイアフラム、前記ベース及び前記流管接続部材が溶接により圧力検出部として一体的に連結されている圧力センサにおいて、 前記圧力検出部を収容するカバーを更に備え、 前記カバー内が前記圧力検出部で区切られて形成され且つ前記リードピン及び前記リード線を収容する第1空間、及び前記圧力検出部の前記流管接続部材側と前記カバーとの間に形成される第2空間には、接着剤が封入されていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (1件)：
G01L 19/14
FI (1件)：
G01L19/14
Fターム (9件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055DD04 ,  2F055EE23 ,  2F055FF38 ,  2F055GG22 ,  2F055GG25
引用特許：
審査官引用 (6件)
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