特許
J-GLOBAL ID：201703006455754514

テトラカルボン酸ジエステル化合物、ポリイミド前駆体の重合体及びその製造方法、ネガ型感光性樹脂組成物、ポジ型感光性樹脂組成物、パターン形成方法、及び硬化被膜形成方法

発明者：
竹村 勝也

竹村 勝也 について

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浦野 宏之

浦野 宏之 について

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飯尾 匡史

飯尾 匡史 について

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提箸 正義

提箸 正義 について

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長谷川 幸士

長谷川 幸士 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (2件)： 好宮 幹夫 ,  小林 俊弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-083787
公開番号（公開出願番号）：特開2017-193500
出願日： 2016年04月19日
公開日（公表日）： 2017年10月26日
要約：
【課題】ポリイミド前駆体の重合体を得ることができるジエステル化合物の提供。【解決手段】式(1)で示される化合物。(X1は4価の有機基;R1は式(2)で示される基)【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)で示されるものであることを特徴とするテトラカルボン酸ジエステル化合物。
IPC (9件)：
C07C 69/92 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/20
FI (11件)：
C07C69/92 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/027 514 ,  G03F7/023 ,  G03F7/037 501 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/027 502 ,  C08G73/10 ,  G03F7/20 521 ,  G03F7/20 501
Fターム (82件)：
2H196AA25 ,  2H196BA05 ,  2H196BA06 ,  2H196BA10 ,  2H196FA01 ,  2H196GA03 ,  2H196GA09 ,  2H196HA01 ,  2H197AA04 ,  2H197AA24 ,  2H197CA02 ,  2H197CA03 ,  2H197CA05 ,  2H197CA06 ,  2H197CA09 ,  2H197CE01 ,  2H197CE10 ,  2H197HA03 ,  2H225AC32 ,  2H225AC66 ,  2H225AC71 ,  2H225AC74 ,  2H225AD00 ,  2H225AD06 ,  2H225AE03P ,  2H225AE14P ,  2H225AF05P ,  2H225AF19P ,  2H225AF44P ,  2H225AF82P ,  2H225AM73P ,  2H225AM91P ,  2H225AM94P ,  2H225AN41P ,  2H225AN84P ,  2H225BA22P ,  2H225BA24P ,  2H225CA12 ,  2H225CB06 ,  2H225CC01 ,  2H225CC03 ,  2H225CC13 ,  2H225CC17 ,  2H225CC21 ,  2H225CD05 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB46 ,  4H006BJ50 ,  4H006BM10 ,  4H006BM71 ,  4H006BN10 ,  4H006BP60 ,  4H006BS30 ,  4H006KC30 ,  4H006KF23 ,  4J043PA04 ,  4J043PC035 ,  4J043QB33 ,  4J043RA05 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043TA12 ,  4J043TB02 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA761 ,  4J043UA762 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043XA04 ,  4J043XA13 ,  4J043YB02 ,  4J043YB21 ,  4J043YB29 ,  4J043YB35 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB50
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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