特許
J-GLOBAL ID:201703006502695920
温度・濃度測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山川 茂樹
, 小池 勇三
, 山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-002464
公開番号(公開出願番号):特開2017-122683
出願日: 2016年01月08日
公開日(公表日): 2017年07月13日
要約:
【課題】試料セル中の気体の温度と濃度をリアルタイムかつ高い精度で測定する。【解決手段】温度・濃度測定装置は、波長1μm帯を中心波長とした同調波長域10nm以上でかつ1kHz以上の波長掃引速度を持つ励起光光源1と、波長1.5μm帯の一定波長の信号光を出力する信号光光源2と、励起光光源1からの励起光と信号光光源2からの信号光とを合波する波長分割多重ファイバカプラ3と、波長分割多重ファイバカプラ3で合波された光を入力とし、励起光と信号光との差周波光を出力する非線形光学結晶4と、非線形光学結晶4から出力され試料セル10を透過した光を検出する検出器5と、検出器5によって得られたスペクトルを基に試料セル10の内部の気体の温度および濃度を導出する解析装置7とを備えている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
波長1μm帯を中心波長とした同調波長域10nm以上でかつ1kHz以上の波長掃引速度を持つ励起光光源と、
波長1.5μm帯の一定波長の信号光を出力する信号光光源と、
前記励起光光源からの励起光と前記信号光光源からの信号光とを合波する合波手段と、
前記合波手段で合波された光を入力とし、前記励起光と前記信号光との差周波光を出力する非線形光学結晶と、
この非線形光学結晶から出力され試料セルを透過した光を検出する検出器と、
この検出器によって得られた測定スペクトルを基に前記試料セルの内部の気体の温度および濃度を導出する解析手段とを備えることを特徴とする温度・濃度測定装置。
IPC (5件):
G01N 21/39
, G01N 21/350
, G01N 21/03
, G02F 1/377
, G01K 11/12
FI (5件):
G01N21/39
, G01N21/3504
, G01N21/03 B
, G02F1/377
, G01K11/12 Z
Fターム (34件):
2G057AA01
, 2G057AB02
, 2G057AB04
, 2G057AB06
, 2G057AC03
, 2G057BA01
, 2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059CC13
, 2G059EE01
, 2G059EE12
, 2G059GG01
, 2G059GG09
, 2G059HH01
, 2G059JJ17
, 2G059JJ30
, 2G059KK01
, 2G059MM01
, 2G059MM10
, 2G059NN02
, 2G059NN04
, 2K102AA07
, 2K102AA35
, 2K102BA18
, 2K102BB02
, 2K102BC01
, 2K102BD09
, 2K102CA18
, 2K102DA05
, 2K102DA10
, 2K102DA20
, 2K102DD05
, 2K102EB01
, 2K102EB20
引用特許:
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