特許
J-GLOBAL ID:201703006571045385

検査装置、検査装置の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人太陽国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-026170
公開番号(公開出願番号):特開2017-146120
出願日: 2016年02月15日
公開日(公表日): 2017年08月24日
要約:
【課題】ノイズによる検査不良を抑制する。【解決手段】検査装置は、接触部を有する被検査基板を位置決めする位置決め部と、該位置決め部に位置決めされた被検査基板に対して、接近離間する方向に移動する移動体と、該移動体に固定され、一端部が該接触部に接触する通電体と、該通電体の他端部が、導電性を有する接合材により接合され、該通電体を介して該接触部に対して信号を送信又は受信する基板と、を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
接触部を有する被検査基板を位置決めする位置決め部と、 該位置決め部に位置決めされた被検査基板に対して、接近離間する方向に移動する移動体と、 該移動体に固定され、一端部が該接触部に接触する通電体と、 該通電体の他端部が、導電性を有する接合材により接合され、該通電体を介して該接触部に対して信号を送信又は受信する基板と、 を備える検査装置。
IPC (4件):
G01R 1/073 ,  G01R 1/067 ,  G01R 31/02 ,  H05K 3/00
FI (4件):
G01R1/073 E ,  G01R1/067 C ,  G01R31/02 ,  H05K3/00 T
Fターム (12件):
2G011AA09 ,  2G011AB01 ,  2G011AB07 ,  2G011AC06 ,  2G011AC33 ,  2G011AE01 ,  2G011AF07 ,  2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AB59 ,  2G014AC09 ,  2G014AC10
引用特許:
審査官引用 (6件)
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