特許
J-GLOBAL ID：201103024630205379
プローブカードを構成するプローブカード用基板およびプローブカード用積層体ならびにこのプローブカード用積層体を用いたプローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-150608
公開番号（公開出願番号）：特開2011-007597
出願日： 2009年06月25日
公開日（公表日）： 2011年01月13日
要約：
【課題】 ウエハの所定位置を正確に検出するともに、高集積化が進んだLSIチップ等の半導体素子上に配列された電極パッドを介して電気的特性を正確に検査できるプローブカードを構成するプローブカード用基板およびプローブカード用積層体、さらにこのプローブカード用積層体とプローブとを備えてなるプローブカードならびにこのプローブカードを用いた半導体ウエハ検査装置を提供する。 【解決手段】 アルミナおよびムライトからなる化合物を主成分とする複合セラミックスからなり、酸化クロム,酸化コバルト,酸化マンガンおよび酸化鉄の少なくとも1種を主成分とする着色剤を含んでいるプローブカード用基板1である。半導体ウエハとの熱膨張係数差が小さくなるように設定することができ、白色の基板よりも基板の表面からの光の反射を抑制することができるので、電極パッドに対する位置決めが正確にできるようになる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
アルミナおよびムライトからなる化合物を主成分とする複合セラミックスからなり、酸化クロム,酸化コバルト,酸化マンガンおよび酸化鉄の少なくとも1種を主成分とする着色剤を含んでいることを特徴とするプローブカード用基板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R1/073 E
, H01L21/66 B
2G011AA09
, 2G011AA16
, 2G011AB06
, 2G011AB07
, 2G011AB10
, 2G011AC21
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106DD10
