特許
J-GLOBAL ID：201703006611876250
13族窒化物結晶、及び13族窒化物結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-051072
公開番号（公開出願番号）：特開2014-177362
特許番号：特許第6155716号
出願日： 2013年03月13日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 B、Al、Ga、In、及びTlからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属原子と窒素原子とを少なくとも含む六方晶の13族窒化物結晶であって、
c軸に垂直な断面の内側に設けられた第1領域と、
前記断面の最外側に設けられた第3領域と、
前記断面における前記第1領域と前記第3領域との間に設けられ、該第1領域及び該第3領域と結晶特性が異なる第2領域と、
を備えており、
前記断面における前記第1領域と前記第2領域の境界の形状が非六角形であることを特徴とする13族窒化物結晶。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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