特許
J-GLOBAL ID:201703007041091641

厚み測定方法、及び厚み測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 桂川 直己
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-111229
公開番号(公開出願番号):特開2014-226497
特許番号:特許第6133130号
出願日: 2013年05月27日
公開日(公表日): 2014年12月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】 被測定体の厚みを、媒質を介して測定するための厚み測定方法であって、 信号の送受信が可能な素子を複数有する素子アレイから、前記媒質を介して前記被測定体に向けて送信波を送信する送信工程と、 前記被測定体からの反射波を前記素子アレイで受信する受信工程と、 各素子の遅延時間を設定する遅延時間設定工程と、 前記反射波を受信した素子が出力した受信信号を、当該素子に設定された前記遅延時間ずつ遅延させて合成することにより受信ビーム信号を形成するビーム形成工程と、 前記受信ビーム信号の強度に基づいて前記被測定体の厚みを検出する厚み検出工程と、 を含み、 前記遅延時間設定工程において設定する前記遅延時間を、前記反射波が焦点から放射されているものとしたときの焦点距離を変化させるように変化させて、前記ビーム形成工程を繰り返すことにより、複数の受信ビーム信号を形成するスキャン工程を含み、 前記厚み検出工程では、前記複数の受信ビーム信号の強度に基づいて前記被測定体の厚みを検出することを特徴とする厚み測定方法。
IPC (1件):
A61B 8/08 ( 200 6.01)
FI (1件):
A61B 8/08 ZDM
引用特許:
審査官引用 (3件)

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