適応光学系を有する顕微鏡検査法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石川徹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-520398
特許番号：特許第6195830号
出願日： 2012年07月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】収束された光ビームを操作する方法であって、サンプル内の焦点に、レンズの後瞳でのビームの断面が個々のビームレットを含む励起光ビームをレンズにより収束させるステップと、他のビームレットが該後瞳を照射する状態で、該レンズの後瞳での励起ビームの個々のビームレットの方向及び/又は相対位相を、波面変調素子により個々に変更するステップと、該個々のビームレットの方向または相対位相が変更された状態で、前記焦点から放射される放射光を検出するステップと、該レンズの後瞳での個々のビームレットの方向を制御して前記焦点からの放射光を最大または最少にするステップと、該レンズの後瞳での個々のビームレットの相対位相を制御して前記焦点からの放射光を増加させるステップとを備える、前記方法。

IPC (3件)：