電源装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉竹英俊 , 有田貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-540336
特許番号：特許第6092410号
出願日： 2013年10月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数の放電セルが接続されることにより構成された、容量性負荷であるプラズマ発生装置(5)に対して、交流電圧を出力する電源装置(10)であって、直流電力を交流電力に変換するインバータ(3)と、前記インバータの出力側に配設される、短絡電流を抑制する限流リアクトル(Lc)と、前記インバータの動作を制御する制御部(6)と、前記インバータの出力側に配設される、短絡を検知する検出部(31,32,41,42)とを、備えており、前記制御部は、前記検出部が前記短絡を検知したとき、前記インバータを停止させる、ことを特徴とする電源装置。

IPC (2件)：