プラズマ発生用電源装置の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：高橋省吾 , 稲葉忠彦 , 村上加奈子 , 中鶴一隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-128119
公開番号（公開出願番号）：特開2005-340185
出願日： 2005年04月26日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】ガス領域の静電容量値が誘電体の静電容量値に比べて無視できないような放電負荷に対しても、力率補償が行え、かつ小型で安価なプラズマ発生用電源装置の製造方法を提供する。【解決手段】ガス領域の静電容量値C2が誘電体の静電容量値C1に比べて無視できないような大きさであり、トランス4を介して交流電力を供給するプラズマ発生用電源装置において、放電負荷5に対して並列または直列にインダクタンスを有するように構成すると共に、上記インダクタンスの値を、トランス4の2次側におけるインダクタンスの値Lが、放電期間における放電負荷の静電容量値C1により決定される値と、非放電期間における放電負荷の静電容量値C3=(C1×C2)/(C1+C2)により決定される値との間にあって、下記の式(1)を満足する値となるように設定する。 1/{C1×(2πf)2}≦L≦1/{C3×(2πf)2}...(1)ここで、f:両電極間に印加される交流電圧の周波数【選択図】図1

請求項（抜粋）：

対向配置する一対の電極間に誘電体を介して放電空間となるガス領域が構成され、上記両電極間に印加される交流高電圧により生じる電界によって上記放電空間のガスを励起してプラズマを発生する放電負荷に対し、トランスを介して交流電力を供給するプラズマ発生用電源装置において、上記ガス領域の静電容量値C2が上記誘電体の静電容量値C1に比べて無視できないような大きさであり、上記放電負荷に対して並列または直列にインダクタンスを有するように構成すると共に、上記インダクタンスの値を、上記トランスの2次側におけるインダクタンスの値Lが、放電期間における放電負荷の静電容量値C1により決定される値と、非放電期間における放電負荷の静電容量値C3=(C1×C2)/(C1+C2)により決定される値との間にあって、下記の式(1)を満足する値となるように設定したことを特徴とするプラズマ発生用電源装置の製造方法。 1/{C1×(2πf)2}≦L≦1/{C3×(2πf)2}...(1) ここで、f:両電極間に印加される交流電圧の周波数

IPC (3件)：

H05H1/24 , B01J19/08 , H01S3/0975

FI (3件)：

H05H1/24 , B01J19/08 E , H01S3/097 D

Fターム (13件)：

4G075AA07 , 4G075BA01 , 4G075CA15 , 4G075CA36 , 4G075CA47 , 4G075DA03 , 4G075DA18 , 4G075EC21 , 4G075FC13 , 4G075FC15 , 5F071GG03 , 5F071JJ01 , 5F071JJ08

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開昭54-134089
特開平3-016902
電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-346247 出願人：株式会社荏原製作所

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審査官引用 (10件)

特開昭54-134089
特開平3-016902
電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-346247 出願人：株式会社荏原製作所

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