特許

J-GLOBAL ID：201703007285863808

ガス流路構造および流量センサ

発明者： 河原井 英樹 ,  山岡 英彦
出願人/特許権者： 理研計器株式会社 ,  地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-107468
公開番号（公開出願番号）：特開2017-215162
出願日： 2016年05月30日
公開日（公表日）： 2017年12月07日
要約：

【課題】流量負荷を増加させることなく、ガス流の脈動を軽減することのできるガス流路構造、および、ガス流の脈動による影響を受けることなく、高い精度で流量測定を行うことのできる小型の流量センサを提供することを目的とする。【解決手段】ガスポンプによって供給されるガス流の脈動軽減機能を有するガス流路構造であって、可撓性隔膜によって区画された第1室および第2室と、当該第1室と当該第2室とを連通させる連通路とによって構成された、当該第1室および当該第2室の各々に順次にガスが流通される一の連続したガス流路を有する。流量センサは、上記ガス流路構造を具備してなる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ガスポンプによって供給されるガス流の脈動軽減機能を有するガス流路構造であって、 可撓性隔膜によって区画された第1室および第2室と、当該第1室と当該第2室とを連通させる連通路とによって構成された、当該第1室および当該第2室の各々に順次にガスが流通される一の連続したガス流路を有することを特徴とするガス流路構造。

IPC (2件)：

G01F 1/00 ,  G01F 1/684

FI (2件)：

G01F1/00 G ,  G01F1/684 Z

Fターム (6件)：

2F030CA10 ,  2F030CC11 ,  2F030CD03 ,  2F030CE11 ,  2F030CF20 ,  2F035EA08

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 流量計の脈動吸収構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-086676   出願人：矢崎総業株式会社