特許

J-GLOBAL ID：201703007304983941

荷電粒子ビーム・システムのためにプラズマ源内に電極を取り付けるためのシステム

発明者： ショーン・ケロッグ ,  アンソニー・グラウペラ ,  エヌ・ウィリアム・パーカー ,  アンドリュー・ビー・ウェルズ ,  マーク・ダブリュー・ウトロート ,  ウォルター・スコチラス ,  グレゴリー・エイ・シュウィンド ,  ショウイン・ジャーン ,  ノエル・スミス
出願人/特許権者： エフ・イ-・アイ・カンパニー
代理人 (1件)： 雨貝 正彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-256984
公開番号（公開出願番号）：特開2013-137994
特許番号：特許第6105260号
出願日： 2012年11月24日
公開日（公表日）： 2013年07月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】荷電粒子ビーム・システムのためにプラズマ源に電極を取外し可能に取り付けるためのシステムであって、 反応室を有するプラズマ源と、 前記反応室に付着させた界面層と、 前記界面層に付着された装着リングと、 前記装着リングに取り付けられた源電極と を備え、前記界面層、前記装着リングおよび前記源電極の組合せが、前記反応室の取付け部分と前記源電極の間の熱伝導性シールを形成するシステム。

IPC (3件)：

H01J 37/08 ( 200 6.01) ,  H01J 37/317 ( 200 6.01) ,  H05H 1/46 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01J 37/08 ,  H01J 37/317 D ,  H05H 1/46 L

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 表面生成型イオン発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-346455   出願人：三菱電機株式会社

審査官引用 (1件)

• 表面生成型イオン発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-346455   出願人：三菱電機株式会社