特許
J-GLOBAL ID:201703007568822830

LTG系単結晶の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  南山 知広 ,  伊坪 公一 ,  萩原 良一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-220519
公開番号(公開出願番号):特開2015-081219
特許番号:特許第6108349号
出願日: 2013年10月23日
公開日(公表日): 2015年04月27日
請求項(抜粋):
【請求項1】 原料融液を上面部に保持する金型と、種結晶を移動させるための移動機構とを備えた単結晶製造装置を使用してEFG法によりLTG系単結晶を製造する方法であって、 前記移動機構によって前記種結晶を移動させる移動速度と、製造前の前記原料融液におけるLTG系単結晶の構成元素の濃度に対する単結晶に取り込まれた当該構成元素の濃度の比との対応関係を用いて、所望の単結晶の組成に応じた移動速度を設定し、 前記上面部に保持された原料融液に前記種結晶を接触させながら、設定された前記移動速度で前記移動機構によって前記種結晶を移動させる、 ステップを有することを特徴とする製造方法。
IPC (2件):
C30B 29/22 ( 200 6.01) ,  C30B 15/34 ( 200 6.01)
FI (2件):
C30B 29/22 Z ,  C30B 15/34

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