特許

J-GLOBAL ID：201703007603359278

環境測定装置及び環境測定方法

発明者： ▲高▼須 良三
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (4件)： 青木 篤 ,  伊坪 公一 ,  河野 努 ,  宮本 哲夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-518028
特許番号：特許第6094673号
出願日： 2013年05月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 振動子と前記振動子の表面に腐蝕性金属により形成された電極とを有する測定用QCMセンサと、 振動子と前記振動子の表面に耐腐蝕性金属で形成された電極とを有する参照用QCMセンサと、 前記測定用QCMセンサを振動させると共に、前記測定用QCMセンサの振動数に応じた周波数を有する測定用周波数信号を送信する測定用発振回路と、 前記参照用QCMセンサを振動させると共に、前記参照用QCMセンサの振動数に応じた周波数を有する参照用周波数信号を送信する参照用発振回路と、 前記測定用発振回路及び前記参照用発振回路に接続され、前記測定用周波数信号及び前記参照用周波数信号それぞれの周波数を計数し、前記計数されたカウント数を示す測定用カウント信号及び参照用カウント信号を送信する周波数カウンタと、 大気中の湿度を検出し、検出した湿度を示す湿度信号を送信する湿度センサと、 前記測定用カウント信号、前記参照用カウント信号及び前記湿度信号を、測定時刻に関連付けて記憶する記憶部と、 所定の湿度以下で測定された周波数を示す測定用カウント信号、参照用カウント信号及び測定時刻から演算された近似式を使用して、前記測定用QCMセンサの電極の腐蝕による質量増加量を決定する制御部と、 を有することを特徴とする環境測定装置。

IPC (1件)：

G01N 5/02 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01N 5/02 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 腐食環境監視装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-229055   出願人：株式会社日立製作所
• 特表平5-508712
  
• 腐食環境監視装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-121592   出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (3件)

• 腐食環境監視装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-229055   出願人：株式会社日立製作所
• 特表平5-508712
  
• 腐食環境監視装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-121592   出願人：株式会社日立製作所