特許

J-GLOBAL ID：201703008448592609

ダイヤモンドラッピング用樹脂定盤及びそれを用いたラッピング方法

発明者： 川村 佳秀 ,  高橋 大介 ,  糸山 光紀
出願人/特許権者： 富士紡ホールディングス株式会社
代理人 (4件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-277420
公開番号（公開出願番号）：特開2014-117794
特許番号：特許第6093170号
出願日： 2012年12月19日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 熱硬化性ポリウレタン樹脂を含み、空隙率が0〜20%であり、かつショアD硬度が50°以上である樹脂シートを備え、 前記熱硬化性ポリウレタン樹脂は、イソシアネート末端ウレタンプレポリマと、ポリアミン化合物及びポリオール化合物からなる群より選ばれる1種以上の化合物との反応生成物であり、 前記イソシアネート末端ウレタンプレポリマのNCO当量は、190〜500である、ダイヤモンドラッピング用樹脂定盤。

IPC (5件)：

B24B 37/14 ( 201 2.01) ,  B24B 37/12 ( 201 2.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  C08G 18/10 ( 200 6.01) ,  C08G 18/32 ( 200 6.01)

FI (5件)：

B24B 37/14 ,  B24B 37/12 C ,  H01L 21/304 622 F ,  C08G 18/10 ,  C08G 18/32

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 研磨パッド用組成物及びそれを用いた研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-333460   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 化学的機械的研磨法およびそれに用いられるスラリー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-280633   出願人：株式会社クラレ
• 研磨パッドおよびそれを用いた研磨装置および研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-233575   出願人：東レ株式会社
• 研磨パッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-305243   出願人：富士紡ホールディングス株式会社