特許
J-GLOBAL ID：201703008516183682
搬送製膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-008360
公開番号（公開出願番号）：特開2014-139099
特許番号：特許第6045922号
出願日： 2013年01月21日
公開日（公表日）： 2014年07月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】薄板長尺体の基材を送出リール部から巻取リール部に連続的に搬送し、搬送中の基材に所定の処理を行って、基材の表面に薄膜を形成する搬送製膜装置であって、
基材の搬送経路には、ネルソンロールを有しており、
少なくとも薄膜を形成する材料を供給する材料供給部に対向して配置されるネルソンロールは、主ロール部とこれに対向して配置される副ロール部とを有しており、
前記副ロール部は、前記主ロール部の回転軸である主ロール軸に平行に配置される副ロール軸と、この副ロール軸に配列される複数の個別ロールとを有しており、
前記複数の個別ロールは、それぞれの中心軸が前記主ロール軸に対してねじれの位置になるように傾斜させて設けられ、
前記副ロール部は、前記主ロール軸方向に相対的に移動可能に形成されており、前記副ロール部が相対的に移動することにより、すべての個別ロールが前記主ロール軸方向に相対的に移動することを特徴とする搬送製膜装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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