特許
J-GLOBAL ID：201703008626306372

放電式オゾン分解装置

発明者：
佐藤 貴翔

佐藤 貴翔 について

, 
田畑 要一郎

田畑 要一郎 について


出願人/特許権者：
東芝三菱電機産業システム株式会社

東芝三菱電機産業システム株式会社 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-095792
公開番号（公開出願番号）：特開2017-202453
出願日： 2016年05月12日
公開日（公表日）： 2017年11月16日
要約：
【課題】比較的簡単な装置構成でオゾン含有ガス中のオゾンを分解してオゾン分解済みガスを精度良く得ることができるオゾン分解装置を得る。【解決手段】放電式オゾン分解装置22は、互いに対向した電極部1A及び電極部1Bを備え、電極部1A及び1B間の電極部空間SP1に高濃度残存オゾンガスG2が供給される。電極部1A及び1Bはそれぞれ電極部空間SP1側に金属化合物質層12a及び12bが設けられる。電極部1A及び1Bは、高周波電源13からの放電電力供給時に電極部空間SP1に誘電体バリア放電現象を発生させ、金属化合物質層12a及び12bをオゾン分解触媒として働かせることにより、電極部空間SP1内の高濃度残存オゾンガスG2中のオゾンを分解して低濃度残存オゾンガスG3を得る放電式のオゾン分解器221として機能する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
互いに対向した第1及び第2の電極部を備え、前記第1及び第2の電極部との間に形成される電極部空間にオゾンを含んだオゾン含有ガスが供給され、前記第1及び第2の電極部のうち少なくとも一つ電極部における前記電極部空間側の表面に金属化合物質層が設けられ、 前記第1及び第2の電極部に放電電力を供給する電源をさらに備え、 前記第1及び第2の電極部は、前記放電電力の供給時に前記電極部空間に放電現象を発生させ、前記金属化合物質層をオゾン分解触媒として働かせることにより、前記電極部空間内の前記オゾン含有ガス中のオゾンを分解してオゾン分解済みガスを得るオゾン分解器として機能し、 前記オゾン分解器によって前記オゾン含有ガス中のオゾンを分解するオゾン分解能力は、前記放電電力の電力値と正の相関を有することを特徴とする、 放電式オゾン分解装置。
IPC (1件)：
B01D 53/86
FI (1件)：
B01D53/86 260
Fターム (9件)：
4D148AA12 ,  4D148AB03 ,  4D148BA28Y ,  4D148BA35Y ,  4D148BA37Y ,  4D148BA38Y ,  4D148BB03 ,  4D148EA03 ,  4G042AA06
引用特許：
審査官引用 (4件)
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