特許
J-GLOBAL ID：201703008858321955
スクライビングホイール
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-232799
公開番号（公開出願番号）：特開2017-074789
出願日： 2016年11月30日
公開日（公表日）： 2017年04月20日
要約：
【課題】脆性材料基板をスクライブし、分断したときの基板の端面強度を強くすることができるスクライビングホイールを提供すること。【解決手段】円板状のスクライビングホイール基材の中心を回転軸とし、円周部分に断面V字形の刃先を形成し、刃先にダイヤモンド膜を形成する。このときダイヤモンドの核を付着し化学気相成長法により成長させることにより膜厚10〜30μmの単層のダイヤモンド膜とする。ダイヤモンドの粒径は2〜10μmの平均粒径となるようにする。その後稜線部分を研磨し、先端を鋭くなるように修正する。これによって稜線部分の粗さを細かくすることができる。このスクライビングホイールを用いて脆性材料基板をスクライブし分断したときに、分断された基材の端面精度が増し、端面強度を向上させることができる。【選択図】図2B
請求項（抜粋）：
円周部に沿って稜線が形成され、前記稜線と前記稜線の両側の傾斜面からなる刃先を有するスクライビングホイール基材と、
前記スクライビングホイール基材の刃先表面に形成されたダイヤモンド膜と、を具備し、
前記ダイヤモンド膜の稜線を含む帯状の領域を研磨領域とし、前記研磨領域におけるダイヤモンド粒子の平均粒径が2.5μm以下であり、前記稜線付近の膜厚を5〜25μmとしたことを特徴とするスクライビングホイール。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
3C069AA03
, 3C069BA04
, 3C069BB01
, 3C069BB02
, 3C069CA00
, 3C069CA11
, 3C069EA02
, 3C069EA03
, 4G015FA03
, 4G015FB01
, 4G015FC08
