検査方法及び検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小川護晃 , 奥山尚一 , 笹島富二雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-107576
公開番号（公開出願番号）：特開2014-228366
特許番号：特許第6201419号
出願日： 2013年05月22日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被検査体の表面に向けてレーザ光を照射する光源と、前記光源から照射されたレーザ光の一部を直交方向に変向すると共にその一部を透過させて前記被検査体の表面に照射させるビームスプリッターと、前記ビームスプリッターによるレーザ光の変向方向の反対側から、前記ビームスプリッターを含む画像を撮像する撮像手段と、を有する検査装置を使用し、コンピュータが、前記撮像手段により撮像された画像のうち、前記ビームスプリッターの範囲内に現れている光点の数に基づいて、前記被検査体に光沢があるか否かを検査する、ことを特徴とする検査方法。

IPC (2件)：