特許
J-GLOBAL ID：201103033542491778

表面性状測定装置および表面性状測定方法

発明者：
柴田 和久

柴田 和久 について


出願人/特許権者：
アークハリマ株式会社

アークハリマ株式会社 について


代理人 (1件)： 進藤 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-103158
公開番号（公開出願番号）：特開2011-232192
出願日： 2010年04月28日
公開日（公表日）： 2011年11月17日
要約：
【課題】ステンレス鋼板や、圧延ロール、金型等の表面が白濁して見える場合に、その白濁の度合いを定量的に評価できるようにする。【解決手段】ディスプレー11に映したパターンをハーフミラー13で反射させて測定対象面21に略垂直に投射し、反射したパターンをハーフミラー13を透過させて撮像素子12で撮影し、映像信号をコンピューター3でデータ処理するよう表面性状測定装置1を構成し、測定対象面21上のパターン投射領域の一部範囲で反射するパターン像への周りからの光の乱反射の影響を強調する測定条件をパターン設定の態様によって実現し、光の乱反射の影響による測定対象面の白濁度合いを定量的に評価する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光学的明暗の2次元分布形状を示すパターンを、コンピューターにより制御可能なディスプレーにより形成し、該パターンをハーフミラーで反射させて測定対象面に略垂直に投射する投射光学系と、投射光学系により投射されて測定対象面で反射したパターンを、前記ハーフミラーを透過させて、測定対象面に略垂直な方向から撮像素子で撮影する撮像光学系とからなり、前記撮像素子により得られた映像信号をコンピューターでデータ処理することにより測定対象面の表面性状を測定する表面性状測定装置であって、 前記測定対象面上のパターン投射領域の一部範囲で反射するパターン像への周りからの光の乱反射の影響を強調する測定条件を前記パターンの設定態様によって実現するパターン設定手段を備え、 前記光の乱反射の影響を強調する測定条件で得られた映像信号に基づいて、前記光の乱反射の影響度合いを計測し、該影響度合いにより、測定対象面の光の乱反射による白濁度合いを評価することを特徴とする表面性状測定装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88 ,  G01N 21/17 ,  G01N 21/57 ,  G01B 11/30
FI (4件)：
G01N21/88 Z ,  G01N21/17 Z ,  G01N21/57 ,  G01B11/30 102Z
Fターム (35件)：
2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB06 ,  2F065BB08 ,  2F065BB25 ,  2F065BB26 ,  2F065CC06 ,  2F065CC10 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065HH06 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL53 ,  2F065NN08 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA37 ,  2G051AB20 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051EA16 ,  2G051EC02 ,  2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059EE02 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01
引用特許：
審査官引用 (6件)
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