特許
J-GLOBAL ID：201703009089635450

研磨粒子、研磨スラリー及び研磨粒子の製造方法

発明者：
パク ジンヒョン

パク ジンヒョン について


出願人/特許権者：
ユービーマテリアルズ インコーポレイテッド

ユービーマテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 特許業務法人前田特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-076890
公開番号（公開出願番号）：特開2017-014482
出願日： 2016年04月06日
公開日（公表日）： 2017年01月19日
要約：
【課題】 研磨粒子、研磨スラリー及び研磨粒子の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】第1の前駆体及び第1の前駆体とは異なる第2の前駆体が混合された前駆体溶液を設ける過程と、塩基性溶液を設ける過程と、塩基性溶液と前駆体溶液を混合し、沈殿物を生成する過程と、沈殿により合成された研磨粒子を洗浄する過程とを含む研磨粒子の製造方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の前駆体及び前記第1の前駆体とは異なる第2の前駆体が混合された前駆体溶液を設ける過程と、 塩基性溶液を設ける過程と、 前記塩基性溶液と前記前駆体溶液を混合し、沈殿物を生成する過程と、 沈殿により合成された研磨粒子を洗浄する過程と を含む研磨粒子の製造方法。
IPC (4件)：
C09K 3/14 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  C09G 1/02
FI (5件)：
C09K3/14 550D ,  H01L21/304 622D ,  B24B37/00 H ,  C09K3/14 550Z ,  C09G1/02
Fターム (20件)：
3C158CA01 ,  3C158ED04 ,  3C158ED11 ,  3C158ED15 ,  3C158ED23 ,  3C158ED26 ,  3C158ED28 ,  5F057AA04 ,  5F057AA28 ,  5F057BA18 ,  5F057BA24 ,  5F057BB16 ,  5F057BB19 ,  5F057CA12 ,  5F057DA03 ,  5F057EA01 ,  5F057EA09 ,  5F057EA16 ,  5F057EA26 ,  5F057EA32
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (10件)
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